Вольфрамды силицид
Вольфрамды силицид
Вольфрам силициді WSi2 микроэлектроникада электр тогының соғу материалы ретінде, полисилицийлі сымдардағы маневрлер, тотығуға қарсы жабын және төзімді сым жабыны ретінде қолданылады.Вольфрам силициді микроэлектроникада байланыс материалы ретінде қолданылады, кедергісі 60-80μΩсм.Ол 1000°С температурада түзіледі.Ол әдетте өткізгіштігін жоғарылату және сигнал жылдамдығын арттыру үшін полисилиций желілері үшін шунт ретінде пайдаланылады.Вольфрам силицидті қабатын химиялық бу тұндыру арқылы дайындауға болады, мысалы, бу тұндыру.Шикізат газы ретінде моносилан немесе дихлоросилан және вольфрам гексафториді пайдаланыңыз.Шөгілген пленка стехиометриялық емес және одан да өткізгіш стехиометриялық пішінге айналдыру үшін жасытуды қажет етеді.
Вольфрам силициді бұрынғы вольфрам пленкасын алмастыра алады.Вольфрам силициді кремний мен басқа металдар арасындағы тосқауыл қабаты ретінде де қолданылады.
Вольфрам силициді микроэлектромеханикалық жүйелерде де өте құнды, олардың арасында вольфрам силицидтері негізінен микросұлбаларды жасау үшін жұқа қабық ретінде қолданылады.Осы мақсатта вольфрам силицидті қабықшаны, мысалы, силицидті пайдаланып, плазмалық оюға болады.
| ITEM | Химиялық құрамы | |||||
| Элемент | W | C | P | Fe | S | Si |
| Мазмұны (салмағы%) | 76.22 | 0,01 | 0,001 | 0,12 | 0,004 | Баланс |
Rich Special Materials компаниясы шашатын мақсатты өндіруге маманданған және тұтынушылардың ерекшеліктеріне сәйкес вольфрамды силицидті шашатын материалдарды шығара алады.Қосымша ақпарат алу үшін бізге хабарласыңыз.
