Бүрку технологиясының артықшылықтары мен кемшіліктері

Жақында көптеген пайдаланушылар бүріккіш жабын технологиясының артықшылықтары мен кемшіліктері туралы сұрады, Біздің тұтынушылардың талаптарына сәйкес, енді RSM Технология департаментінің мамандары мәселелерді шешуге үміттеніп, бізбен бөліседі.Мүмкін келесі тармақтар бар:

　　1、 Магнитронның теңгерілмеген шашырауы

Магнетронды шашыратқыш катодтың ішкі және сыртқы магниттік полюс ұштары арқылы өтетін магнит ағыны тең емес деп есептесек, ол теңгерімсіз магнетронды шашыратқыш катод болып табылады.Кәдімгі магнетронды шашыратқыш катодтың магнит өрісі мақсатты бетке жақын шоғырланған, ал теңгерімсіз магнетронды шашыратқыш катодтың магнит өрісі нысанадан шығады.Кәдімгі магнетрондық катодтың магнит өрісі плазманы мақсатты бетке жақын жерде қатты шектейді, ал субстраттың жанындағы плазма өте әлсіз және субстрат күшті иондар мен электрондармен бомбаланбайды.Магнетронды катодтың тепе-теңдік емес магнит өрісі плазманы мақсатты бетінен алысқа созып, субстратты батыра алады.

　　2、 Радиожиілік (RF) шашырауы

Оқшаулағыш пленканы тұндыру принципі: оқшаулағыш нысананың артқы жағында орналасқан өткізгішке теріс потенциал қолданылады.Жарқырау разрядының плазмасында оң ионды бағыттаушы пластина жылдамдағанда, ол оның алдындағы оқшаулағыш нысананы шашырату үшін бомбалайды.Бұл шашырау тек 10-7 секундқа созылуы мүмкін.Осыдан кейін оқшаулағыш нысанаға жинақталған оң зарядтан пайда болған оң потенциал өткізгіш пластинкасындағы теріс потенциалды өтейді, сондықтан оқшаулағыш нысанаға жоғары энергиялы оң иондарды бомбалау тоқтатылады.Бұл кезде қоректендіру көзінің полярлығы кері болса, электрондар оқшаулағыш пластинаны бомбалайды және оқшаулағыш пластинадағы оң зарядты 10-9 секунд ішінде бейтараптап, оның потенциалын нөлге тең етеді.Бұл кезде қуат көзінің полярлығын өзгерту 10-7 секунд ішінде шашырауды тудыруы мүмкін.

РЖ шашыратудың артықшылықтары: металдық нысаналарды да, диэлектрлік нысаналарды да шашыратуға болады.

　　3、 тұрақты ток магнетронды шашырату

Магнетронды шашыратқыш жабын жабдығы тұрақты токтың катодты нысанасындағы магнит өрісін арттырады, электр өрісіндегі электрондардың траекториясын байланыстыру және ұзарту үшін магнит өрісінің Лоренц күшін пайдаланады, электрондар мен газ атомдарының соқтығысу мүмкіндігін арттырады, газ атомдарының иондану жылдамдығы нысананы бомбалайтын жоғары энергиялы иондардың санын арттырады және қапталған субстратты бомбалайтын жоғары энергиялы электрондардың санын азайтады.

Жазық магнетронды шашыраудың артықшылықтары:

1. Мақсатты қуат тығыздығы 12 Вт/см2 жетуі мүмкін;

2. Мақсатты кернеу 600 В жетуі мүмкін;

3. Газ қысымы 0,5pa жетуі мүмкін.

Жазық магнетронды шашыратудың кемшіліктері: нысана ұшу-қону жолағында шашырау арнасын құрайды, бүкіл нысана бетінің ою біркелкі емес, нысананы пайдалану коэффициенті тек 20% – 30% құрайды.

　　4、 Аралық жиіліктегі айнымалы ток магнетронды шашырату

Бұл орташа жиіліктегі айнымалы ток магнетронды шашыратқыш жабдығында әдетте өлшемдері мен пішіні бірдей екі нысана қатар конфигурацияланады, олар жиі қос нысаналар деп аталады.Олар тоқтатылған қондырғылар.Әдетте екі нысана бір уақытта қуаттандырылады.Орташа жиілікті айнымалы ток магнетронды реактивті шашырау процесінде екі нысана өз кезегінде анод пен катод ретінде әрекет етеді және олар бір жарты циклде бір-біріне анодтық катод ретінде әрекет етеді.Мақсат теріс жарты цикл потенциалында болғанда, нысана беті оң иондармен бомбаланады және шашырайды;Оң жарты циклде плазманың электрондары нысана бетінің оқшаулағыш бетінде жинақталған оң зарядты бейтараптандыру үшін мақсатты бетке жеделдетіледі, бұл нысана бетінің тұтануын басып қана қоймайды, сонымен қатар « анодтың жоғалуы».

Аралық жиілікті қос мақсатты реактивті тозаңдатудың артықшылықтары:

(1) Тұндыру жылдамдығы жоғары.Кремний нысандары үшін орташа жиілікті реактивті шашыраудың тұндыру жылдамдығы тұрақты ток реактивті шашыратудан 10 есе жоғары;

(2) Шашырау процесін белгіленген жұмыс нүктесінде тұрақтандыруға болады;

(3) «Тұтану» құбылысы жойылады.Дайындалған оқшаулағыш пленканың ақаулық тығыздығы тұрақты токтың реактивті тозаңдату әдісінен бірнеше рет аз;

(4) Астардың жоғары температурасы пленка сапасы мен адгезиясын жақсарту үшін пайдалы;

(5) Егер қуат көзі РЖ қуат көзінен гөрі мақсатқа сәйкес келуі оңайырақ болса.

　　5、 Реактивті магнетронды шашырату

Шашырату процесінде реакция газы қосынды қабықшалар алу үшін шашыраған бөлшектермен әрекеттесу үшін беріледі.Ол реактивті газды бір уақытта шашыратқыш қосылыстың нысанасымен әрекеттесу үшін қамтамасыз ете алады және сонымен бірге берілген химиялық қатынасы бар құрама қабықшаларды дайындау үшін бір уақытта шашыратқыш металмен немесе қорытпа нысанымен әрекеттесу үшін реактивті газды қамтамасыз ете алады.

Реактивті магнетронды шашыратқыш құрама пленкалардың артықшылықтары:

(1) Пайдаланылатын мақсатты материалдар мен реакциялық газдар оттегі, азот, көмірсутектер және т.б. болып табылады, олар әдетте жоғары тазалықтағы өнімдерді алу оңай, бұл жоғары таза құрамдас пленкаларды дайындауға қолайлы;

(2) Процесс параметрлерін реттеу арқылы химиялық немесе химиялық емес қосылыс пленкаларын дайындауға болады, осылайша пленкалардың сипаттамаларын реттеуге болады;

(3) субстрат температурасы жоғары емес және субстратқа шектеулер аз;

(4) Ол үлкен аумақты біркелкі жабуға жарамды және өнеркәсіптік өндірісті жүзеге асырады.

Реактивті магнетронды шашырату процесінде құрама шашыратудың тұрақсыздығы оңай пайда болады, негізінен мыналарды қамтиды:

(1) Құрама мақсаттарды дайындау қиын;

(2) Нысаналы уланудан және шашырату процесінің тұрақсыздығынан туындаған доғаның соғу құбылысы (доғалық разряд);

(3) Шашыраудың төмен жылдамдығы;

(4) Фильмнің ақау тығыздығы жоғары.