Бүрку – пленкалық материалдарды дайындаудың негізгі технологияларының бірі екені бәрімізге белгілі.Ол жоғары жылдамдықты иондар сәулесін қалыптастыру үшін вакуумдағы агрегацияны жеделдету үшін ион көзі шығаратын иондарды пайдаланады, қатты бетті бомбалайды және иондар қатты беттегі атомдармен кинетикалық энергиямен алмасады, осылайша қатты денедегі атомдар беті қатты затты қалдырып, субстрат бетіне шөгеді.Бомбаланған қатты зат бүрку арқылы қабықшаны тұндыру үшін шикізат болып табылады, оны бүрку нысанасы деп атайды.
Шашыратылған пленка материалдарының әртүрлі түрлері жартылай өткізгішті интегралды схемаларда, жазу құралдарында, жазық дисплейде, аспап пен қалып бетін жабуда және т.б. кеңінен қолданылады.
Шашырату нысандары негізінен интегралдық схемалар, ақпаратты сақтау, сұйық кристалды дисплейлер, лазерлік жадылар, электронды басқару жабдықтары және т.б. сияқты электронды және ақпараттық салаларда қолданылады;Оны шыны жабу саласында да қолдануға болады;Оны тозуға төзімді материалдарда, жоғары температурадағы коррозияға төзімділікте, жоғары сапалы сәндік бұйымдарда және басқа салаларда қолдануға болады.
Шашырату нысандарының көптеген түрлері бар және нысаналарды жіктеудің әртүрлі әдістері бар:
Құрамы бойынша оны металл нысанасы, қорытпа нысанасы және керамикалық қосылыс нысанасы деп бөлуге болады.
Пішініне қарай оны ұзын нысана, шаршы нысана және дөңгелек нысана деп бөлуге болады.
Қолдану өрісіне сәйкес оны микроэлектрондық нысана, магниттік жазу нысанасы, оптикалық диск нысанасы, қымбат металды нысана, пленкаға төзімділік нысанасы, өткізгіш пленка нысанасы, бетті өзгерту нысанасы, маска нысанасы, сәндік қабат нысанасы, электрод нысанасы және басқа нысандарға бөлуге болады.
Әртүрлі қолданбаларға сәйкес оны жартылай өткізгіштерге қатысты керамикалық нысандарға, орташа керамикалық нысандарды жазуға, керамикалық нысандарды көрсетуге, асқын өткізгіш керамикалық нысандарға және үлкен магнитке төзімді керамикалық нысандарға бөлуге болады.
Жіберу уақыты: 29 шілде 2022 ж