Деректерді сақтау өнеркәсібінде қолданылатын мақсатты материал жоғары тазалықты қажет етеді және шашырату кезінде қоспа бөлшектерінің пайда болуын болдырмау үшін қоспалар мен кеуектерді азайту керек.Жоғары сапалы өнімдер үшін пайдаланылатын мақсатты материал оның кристалдық бөлшектерінің өлшемі шағын және біркелкі болуы керек және кристалдық бағдары болмауы керек.Төменде мақсатты материалға арналған оптикалық сақтау саласының талаптарын қарастырайық?
1. Тазалық
Практикалық қолданбаларда мақсатты материалдардың тазалығы әртүрлі салалар мен талаптарға сәйкес өзгереді.Дегенмен, жалпы алғанда, мақсатты материалдың тазалығы неғұрлым жоғары болса, шашыраған пленканың өнімділігі соғұрлым жақсы болады.Мысалы, оптикалық сақтау өнеркәсібінде мақсатты материалдың тазалығы 3N5 немесе 4N жоғары болуы керек.
2. Қоспаның құрамы
Мақсатты материал бүрку кезінде катод көзі ретінде қызмет етеді, ал қатты заттардағы қоспалар және кеуектердегі оттегі мен су булары жұқа қабықшаларды тұндыру үшін негізгі ластаушы көздер болып табылады.Сонымен қатар, әртүрлі пайдалану нысандарына арнайы талаптар бар.Мысал ретінде оптикалық сақтау саласын алатын болсақ, жабынның сапасын қамтамасыз ету үшін шашыратқыш нысандардағы қоспалар өте төмен деңгейде бақылануы керек.
3. Дәннің мөлшері мен көлемінің таралуы
Әдетте, мақсатты материалдың поликристалды құрылымы бар, түйір өлшемдері микрометрден миллиметрге дейін өзгереді.Құрамы бірдей нысаналар үшін ұсақ дәнді нысаналардың бүрку жылдамдығы ірі дәнді нысандарға қарағанда жылдамырақ.Түйіршік өлшемдерінің айырмашылығы азырақ нысаналар үшін тұндырылған пленка қалыңдығы да біркелкі болады.
4. Ықшамдылық
Қатты мақсатты материалдағы кеуектілікті азайту және пленка өнімділігін жақсарту үшін, әдетте, шашыратқыш материалдың жоғары тығыздықты болуы талап етіледі.Мақсатты материалдың тығыздығы негізінен дайындық процесіне байланысты.Балқыту және құю әдісімен дайындалған мақсатты материал мақсатты материалдың ішінде тесіктердің жоқтығын және тығыздықтың өте жоғары болуын қамтамасыз ете алады.
Жіберу уақыты: 18 шілде 2023 ж