Мақсаттың көптеген функциялары мен көптеген салаларда кең қолданбалы мүмкіндіктері бар.Жаңа бүрку жабдығы нысанның айналасында аргонның иондануын жеделдету үшін электрондарды айналдыру үшін қуатты магниттерді қолданады, бұл нысана мен аргон иондарының соқтығысу ықтималдығын арттырады,
Шашырау жылдамдығын арттырыңыз.Әдетте, тұрақты токтың шашырауы металды жабу үшін қолданылады, ал РЖ байланысының шашырауы электр өткізбейтін керамикалық магниттік материалдар үшін қолданылады.Негізгі принцип - вакуумдағы нысанның бетіндегі аргон (AR) иондарына соғу үшін жарқырау разрядын пайдалану және плазмадағы катиондар шашыраған материал ретінде теріс электрод бетіне шығу үшін жылдамдатады.Бұл әсер нысана материалының ұшып кетуіне және пленка қалыптастыру үшін субстратқа түсуіне әкеледі.
Тұтастай алғанда, шашырату процесін пайдаланатын пленка жабынының бірнеше ерекшеліктері бар:
(1) Металл, қорытпа немесе оқшаулағыш жұқа пленка деректеріне айналуы мүмкін.
(2) Сәйкес орнату шарттарында құрамы бірдей пленканы бірнеше және ретсіз нысандардан жасауға болады.
(3) Мақсатты материал мен газ молекулаларының қоспасы немесе қосылысы разряд атмосферасына оттегі немесе басқа белсенді газдарды қосу арқылы жасалуы мүмкін.
(4) Мақсатты кіріс тогы мен шашырау уақытын басқаруға болады және жоғары дәлдіктегі пленка қалыңдығын алу оңай.
(5) Бұл басқа фильмдерді шығаруға пайдалы.
(6) Шашыраған бөлшектер ауырлық күшінен әрең әсер етеді және нысана мен субстратты еркін ұйымдастыруға болады.
Хабарлама уақыты: 24 мамыр 2022 ж