1、 Шашыратуға дайындық
Вакуумдық камераны, әсіресе бүрку жүйесін таза ұстау өте маңызды.Майлау майы, шаң және алдыңғы жабыннан пайда болған кез келген қалдық су буы мен басқа ластаушы заттарды жинайды, бұл вакуумдық дәрежеге тікелей әсер етеді және пленка түзудің бұзылу мүмкіндігін арттырады.Қысқа тұйықталу немесе нысана доғасы, өрескел пленка беті және шамадан тыс химиялық қоспалар көбінесе тозаңдату камерасы, бүріккіш пистолет және нысанадан болады.Қаптаманың құрамдық сипаттамаларын сақтау үшін шашыратқыш газды (аргон немесе оттегі) тазалау және кептіру қажет.Субстрат бүрку камерасына орнатылғаннан кейін процесс талап ететін вакуумға жету үшін ауаны алу керек.Қараңғы аймақтағы, қуыс қабырғасындағы және іргелес бетіндегі қорғаныс қақпағын да таза ұстау қажет.Вакуумдық камераны тазалаған кезде, біз шаңды бөліктерді өңдеу үшін шыны шарикті атқылауды, камераның айналасындағы ерте шашырау қалдықтарын кетіру үшін сығылған ауамен бірге қолданып, содан кейін алюминий тотығы сіңдірілген тегістеу қағазымен сыртқы бетті тыныш жылтыратуды ұсынамыз.Дәке қағазын жылтыратқаннан кейін оны спиртпен, ацетонмен және ионсыздандырылған сумен тазартады.Бірге ол қосалқы тазалау үшін өнеркәсіптік шаңсорғышты пайдалануды қолдайды.Гаожан металл шығарған нысаналар вакуумды тығыздалған пластик пакеттерге оралған,
Ылғалға төзімді агент ішіне кіріктірілген.Нысананы пайдаланған кезде нысанаға тікелей қолыңызды тигізбеңіз.Ескертпе: нысананы пайдаланған кезде таза және түксіз техникалық қызмет көрсету қолғаптарын киіңіз.Ешқашан нысанаға қолыңызбен тікелей тигізбеңіз
2、 Мақсатты тазалау
Мақсатты тазалаудың мақсаты - нысанның бетінде болуы мүмкін шаңды немесе кірді кетіру.
Металл нысананы төрт қадаммен тазалауға болады,
Бірінші қадам - ацетонға малынған түксіз жұмсақ шүберекпен тазалау;
Екінші қадам бірінші қадамға ұқсас, алкогольмен тазалау;
3-қадам: ионсыздандырылған сумен тазалаңыз.Дейондандырылған сумен жуғаннан кейін нысананы пешке қойып, оны 100 ℃ температурада 30 минут бойы кептіріңіз.
Оксидті және керамикалық нысандарды тазалау «түксіз шүберекпен» жүзеге асырылады.
Төртінші қадам - шаңды аймақты алып тастағаннан кейін нысананы жоғары қысыммен және төмен су газымен аргонмен жуу, осылайша тозаңдату жүйесінде доға пайда болуы мүмкін барлық қоспа бөлшектерін жою.
3、 Мақсатты құрылғы
Мақсатты орнату процесінде Z маңызды сақтық шаралары нысана мен бүріккіш пистолеттің салқындатқыш қабырғасы арасындағы жақсы жылу өткізгіштік байланысын қамтамасыз ету болып табылады.Егер салқындату тіреуінің қисаюы қатты болса немесе артқы пластинаның қисаюы күшті болса, мақсатты құрылғы жарылып немесе майысып, артқы мақсаттан нысанаға дейінгі жылу өткізгіштікке қатты әсер етеді, бұл жылуды таратудың сәтсіздігіне әкеледі. шашырату процесінде және нысана жарылып кетеді немесе жіберіп алады
Жылу өткізгіштігін қамтамасыз ету үшін катодты салқындату қабырғасы мен нысана арасына графит қағазының қабатын салуға болады.Назар аударыңыз, тығыздағыш сақинаның әрқашан орнында болуын қамтамасыз ету үшін қолданылатын бүріккіш пистолеттің салқындату қабырғасының тегістігін мұқият тексеріп, анық көрсетіңіз.
Пайдаланылатын салқындату суының тазалығы және жабдықты пайдалану кезінде пайда болуы мүмкін шаң катодты салқындату суының резервуарында жиналатындықтан, нысанды орнату кезінде катодты салқындатқыш су ыдысының тегіс болуын қамтамасыз ету үшін тексеру және тазалау қажет. салқындату суының айналымын және кіріс пен шығыстың бітелмеуін қамтамасыз етеді.
Кейбір катодтарда анодпен шағын кеңістік болуы жоспарланған, сондықтан нысананы орнату кезінде катод пен анод арасында ешқандай жанасу немесе өткізгіш болмауын қамтамасыз ету қажет, әйтпесе қысқа тұйықталу пайда болады.
Мақсатты қалай дұрыс басқару керектігі туралы ақпаратты жабдық операторының нұсқаулығынан қараңыз.Пайдаланушы нұсқаулығында мұндай ақпарат болмаса, Gaozhan metal ұсынған тиісті ұсыныстарға сәйкес құрылғыны орнатуға тырысыңыз.Мақсатты бекітуді қатайтқанда, алдымен бір болтты қолмен қатайтыңыз, содан кейін диагональ бойынша басқа болтты қолмен бұраңыз.Құрылғыдағы барлық болттар тартылғанша қайталаңыз, содан кейін бір нәрсемен тартыңыз.
4、 Қысқа тұйықталу және тығыздықты тексеру
Мақсатты құрылғыны аяқтағаннан кейін барлық катодтың қысқа тұйықталуы мен тығыздығын тексеру қажет,
Кедергі өлшегіштің көмегімен катодта қысқа тұйықталу бар-жоғын анықтау ұсынылады
Қатар дискриминациясы.Катодта қысқа тұйықталу жоқтығын растағаннан кейін ағып кетуді анықтауға болады және судың ағып кетуін растау үшін катодқа суды енгізуге болады.
5、 Алдын ала бүркуді мақсат етіңіз
Мақсатты алдын ала шашырату нысанның бетін тазарта алатын таза аргонды шашыратуды жақтайды.Нысананы алдын ала шашыратқанда, шашырату қуатын баяу арттыру ұсынылады, ал керамикалық нысананың қуатты арттыру жылдамдығы 1,5 Вт/см2 құрайды.Металл нысананың шашырау алдындағы жылдамдығы керамикалық мақсатты блоктан жоғары болуы мүмкін және қуатты арттырудың ақылға қонымды жылдамдығы 1,5 Вт/см2 құрайды.
Алдын ала тозаңдату процесінде біз нысананың доғасын тексеруіміз керек.Алдын ала бүрку уақыты әдетте шамамен 10 минутты құрайды.Доғаның пайда болу құбылысы болмаса, шашырату қуатын үздіксіз арттырыңыз
Орнатылған қуатқа.Тәжірибе бойынша, металл нысананың рұқсат етілген Z жоғары шашыратқыш күші
Керамикалық мақсат үшін 25 ватт / см2, 10 ватт / см2.Пайдаланушының жүйені пайдалану нұсқаулығында шашырату кезінде вакуумдық камераның қысымын орнату негіздері мен тәжірибесін қараңыз.Жалпы алғанда, салқындатқыш судың шығысындағы су температурасы 35 ℃ төмен болуы керек, бірақ Z салқындатқыш судың айналу жүйесінің тиімді жұмыс істеуін қамтамасыз ету маңызды.
Аса салқындату суының жылдам айналымы жылуды алып тастайды, бұл жоғары қуатпен үздіксіз шашырауды қамтамасыз етудің маңызды кепілі болып табылады.Металл нысандар үшін әдетте салқындатқыш су ағынының болуы ұсынылады
20 л/мин су қысымы шамамен 5 гм;Керамикалық нысандар үшін әдетте су ағыны 30 л/мин, ал су қысымы шамамен 9 гмп деп ұсынылады.
6、 Мақсатты техникалық қызмет көрсету
Шашырату процесінде таза емес қуыс нәтижесінде пайда болатын қысқа тұйықталу мен доғаның пайда болуын болдырмау үшін шашырату жолының ортасында және екі жағында жиналған шашыратқышты кезең-кезеңімен жою қажет,
Бұл сонымен қатар пайдаланушыларға z жоғары қуат тығыздығында үздіксіз шашыратуға көмектеседі
7、 Мақсатты сақтау
Гаожан металы ұсынған нысаналар екі қабатты вакуумды пластик пакеттерге оралған.Біз пайдаланушылардың металды немесе керамикалық заттарды вакуумды қаптамада сақтауын қолдаймыз.Атап айтқанда, байланыстырушы қабаттың тотығуының байланыстыру сапасына әсер етпеуі үшін байланыстыру нысандарын вакуум жағдайында сақтау керек.Металл нысаналардың қаптамасына келетін болсақ, біз Z таза полиэтилен пакеттерге орау керектігін қолдаймыз
Хабарлама уақыты: 13 мамыр 2022 ж