Нарық сұранысының артуына байланысты шашырату мақсаттарының көбірек түрлері үнемі жаңартылып отырады.Кейбіреулері таныс, ал кейбіреулері тұтынушыларға бейтаныс.Енді біз сіздермен магнетронды шашырату нысандарының түрлерімен бөліскіміз келеді.
Шашырату нысанасының келесі түрлері болады: металды шашырату нысанасы, қорытпаны шашырату жабыны нысанасы, керамикалық бүріккіш жабын нысанасы, боридті керамикалық бүрку нысанасы, карбидті керамикалық бүрку нысанасы, фторидті керамикалық бүрку нысанасы, нитридті керамикалық бүрку нысанасы, керамикалық қышқыл қышқылды бүрку нысанасы, , силицидті керамикалық шашырату нысанасы, сульфидті керамикалық шашырату нысанасы, теллуридті керамикалық бүрку нысанасы, басқа керамикалық нысандар, хром қосылған кремний оксиді керамикалық мақсат (CR SiO), индий фосфиді нысанасы (INP), қорғасын арсениді нысанасы (pbas), индий арсениді нысанасы (InAs ).
Магнетронды шашырату әдетте екі түрге бөлінеді: тұрақты токтың шашырауы және РЖ шашыратқышы.Тұрақты токпен тозаңдату жабдығының жұмыс істеу принципі қарапайым, оның жылдамдығы металды шашыратқанда да жылдам.РЖ шашырату кеңінен қолданылады.Өткізгіш деректерді шашыратумен қатар, ол өткізбейтін деректерді де тарата алады.Сонымен қатар, шашырату нысанасы оксидтер, нитридтер және карбидтер сияқты құрама деректерді дайындау үшін реактивті шашыратуды жүзеге асырады.РЖ жиілігі жоғарыласа, ол микротолқынды плазманың шашырауына айналады.Қазіргі уақытта электронды циклотронды резонансты (ECR) микротолқынды плазмалық шашырау жиі қолданылады.
Хабарлама уақыты: 18 мамыр 2022 ж