Магнетронды шашыратқыш мақсатты материалдар дегеніміз не

Металл шашатын мақсатты материал, жабын қорытпасы шашыратқыш жабын материалы, керамикалық шашыратқыш жабын материалы, боридті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материалдар, карбидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материал, фторидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материал, нитридті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материалдар, оксидті керамикалық нысана, селенидті керамикалық мақсатты материал, Силицидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материалдар, сульфидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материал, теллуридті керамикалық шашырату нысанасы, басқа керамикалық нысана, хром қосылған кремний оксиді керамикалық нысана (CR-SiO), индий фосфиді нысанасы (InP), қорғасын арсениді (PbAs), индий арсениді мақсатты (InAs).

Жоғары тазалықтағы және жоғары тығыздықтағы шашыратқыш мақсатты материалдар:

Нысаналы материалды шашырату (тазалығы: 99,9%-99,999%)

1. Металл нысана:

Никель нысанасы, Ni, титан нысанасы, Ti, мырыш нысанасы, Zn, хром нысанасы, Cr, магний нысанасы, Mg, ниобий нысанасы, Nb, қалайы нысанасы, Sn, алюминий нысаны, Al, индиум нысанасы, In, темір нысаны, Fe, Цирконий алюминий нысанасы, ZrAl, титан алюминий нысаны, TiAl, цирконий нысанасы, Zr, алюминий-кремний нысанасы, AlSi, кремний нысаны, Si, мыс нысаны Cu, тантал нысанасы T, A, германия нысанасы, Ge, күміс нысана, Ag, кобальт нысана, Co, алтын нысанасы, Au, гадолиний нысанасы, Gd, лантан нысанасы, La, иттрий нысанасы, Y, церий нысанасы, Ce, вольфрам нысанасы, W, тот баспайтын болаттан жасалған нысана, никель-хром нысанасы, NiCr, гафний нысанасы, Hf, молибден нысанасы, Mo, Fe-Ni нысанасы, FeNi, вольфрам нысанасы, Вт және т.б.

2. Керамикалық мақсатты материал

ITO мақсатты нысанасы, темір оксиді, магний оксиді нысанасы, мақсат, нысана, кремний карбиді кремний нитриді титан нитриді мақсатты нысана, мақсат, мырыш сульфиді, мырыш оксиді, хром оксиді, кремний диоксиді, кремний оксиді, церий оксиді нысанасы, нысана, бес цирконий диоксиді оттегі HuaEr ниобий мақсатты нысана, нысана, титан диоксиді, цирконий диоксиді, гафний нысанасы, нысана, титан дибориді цирконий нысанасы, вольфрам триоксиді нысанасы, алюминий триоксиді нысанасы тантал пентаоксиді нысана, магнииттрий флюториді нысанасы нысана, мырыш селениді нысанасы, алюминий нитриді нысанасы, кремний нитриді нысанасы, бор нитриді нысанасы, титан нитриді нысанасы, кремний карбиді нысанасы, литий ниобаты нысанасы, празеодим титанаты нысанасы, барий титанаты нысанасы, лантан титанаты нысанасы, никель оксиді нысанасы, т.б., .