Шашыратушы мақсатты материалдарды таңдауда вакуумды қаптау адамдар үшін мәселе болды, өйткені шашыратқыш жабын, әсіресе магнетронды шашыратқыш жабын дағдыларын дамыту, жұқа қабықшаларды материалды дайындауға бағытталған кез келген ақпарат үшін айтуға болады. иондық бомбалау арқылы, өйткені төсеу процесінде мақсатты материалды субстрат түріне шашырату арқылы шашыратқыш пленка сапасына маңызды әсер етеді, Сондықтан мақсатты материалға қойылатын талаптар қатаңырақ.Мұнда біз Пекин релаксациясының редакторымен бірге вакуумдық жабындағы шашыратқыш нысананың рөлі туралы білеміз.
一、Таңдау принципі және мақсатты материалдың классификациясы
Мақсатты материалды таңдау кезінде фильмнің өзін пайдаланудан басқа келесі мәселелерді де ескеру қажет:
Есеп 1. Мембрананы пайдалану және өнімділік талаптарына сәйкес мақсатты материалға тазалық, журнал мазмұны, құрамдас бөліктердің біркелкілігі, өңдеу дәлдігі және т.б. техникалық талаптарға сай болуы қажет.
Есеп 2. Мақсатты материал пленка түзгеннен кейін жақсы механикалық беріктікке және химиялық тұрақтылыққа ие болуы керек;
Есеп 3. Пленка материалы реактивті шашыратқыш пленка ретінде реакциялық газбен аралас пленканы оңай тудыру қажет;
Есеп 4. Мақсат пен матрицаны берік етіп қою керек, әйтпесе матрицамен жақсы жабысатын пленка материалы қабылдануы керек, алдымен астыңғы пленка қабатын шашыратып, содан кейін қажетті пленка қабатын дайындаңыз;
5-сұрақ. Пленканың өнімділік талаптарын қанағаттандыру негізінде нысан мен матрицаның жылулық кеңею коэффициенті арасындағы айырмашылық неғұрлым аз болса, шашыратқыш пленканың жылу кернеуінің әсерін азайту үшін соғұрлым жақсы болады;
Бірнеше жиі қолданылатын мақсаттарды дайындау
(1) кр мақсаты
Шашыратушы пленка материалы ретінде хромды негізгі материалмен біріктіру оңай ғана емес, жоғары адгезиясы бар, ал хром және оксидті CrQ3 пленкасы, оның механикалық қасиеттері, қышқылға төзімділігі және термиялық тұрақтылығы жақсырақ.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd. негізінен мыналармен айналысады: титан нысанасы цирконий нысанасы, алюминий нысанасы, никель нысанасы, хром нысанасы, вольфрам нысанасы, молибден нысанасы, мыс нысанасы, кремний нысанасы, ниобий нысанасы, тантал нысанасы, титан-кремний қорытпасы нысана, титан-ниобий қорытпасының нысанасы, титан-вольфрам қорытпасының нысанасы, титан-цирконий қорытпасының нысанасы, никель-хром қорытпасының нысанасы, кремний-алюминий қорытпасының нысанасы, никель-ванадий қорытпасының нысанасы, хром-алюминий-кремний үштік қорытпасының нысанасы，Ти алси әшекейлеуде/қатты бетінде және функционалдық жабынында, сәулет шынысында, жалпақ дисплейде/оптикалық фотоэлектрлік, оптикалық сақтауда, электроникада, полиграфияда және басқа кәсіптерде кеңінен қолданылатын үштік қорытпасы мақсатты материал.
Жіберу уақыты: 02 маусым 2022 ж