Магнетронды шашыратқыш жабын - бұл бумен жабудың жаңа физикалық әдісі, бұрынғы булану әдісімен салыстырғанда, оның көптеген аспектілердегі артықшылықтары айтарлықтай керемет.Жетілген технология ретінде магнетронды шашырату көптеген салаларда қолданылды.
Магнетронды шашырату принципі:
Шашыраған нысана полюсі (катод) мен анод арасында ортогональды магнит өрісі мен электр өрісі қосылады, ал жоғары вакуумдық камерада қажетті инертті газ (әдетте Ar газы) толтырылады.Тұрақты магнит мақсатты материалдың бетінде 250-350 гаус магнит өрісін құрайды, ал ортогональды электромагниттік өріс жоғары вольтты электр өрісінен тұрады.Электр өрісінің әсерінен, Ar газының оң иондарға және электрондарға иондануы, мақсатты және белгілі бір теріс қысымға ие, магнит өрісінің әсерінен полюстен нысанадан және жұмыс газының иондану ықтималдығы артады, жақын жерде тығыздығы жоғары плазманы құрайды. катод, лоренц күшінің әсерінен Ar ионы, нысана бетіне ұшу жылдамдығын арттырады, нысананы жоғары жылдамдықпен бомбалайды, нысанаға шашыраған атомдар импульс түрлендіру принципін ұстанады және жоғары кинетикалық нысана бетінен ұшып кетеді. субстратты тұндыру пленкасына энергия.
Магнетронды шашырату әдетте екі түрге бөлінеді: тұрақты токтың шашырауы және РЖ шашырауы.Тұрақты токпен тозаңдату жабдығының принципі қарапайым және металды шашырату кезінде жылдамдығы жылдам.РЖ тозаңдатуды қолдану кеңірек, ол өткізгіш материалдарды шашыратумен қатар, сонымен қатар өткізбейтін материалдарды, сонымен қатар оксидтерді, нитридтерді және карбидтерді және басқа да қосылыстарды реактивті шашыратуды дайындауды қамтиды.РЖ жиілігі жоғарыласа, ол микротолқынды плазманың шашырауына айналады.Қазіргі уақытта электронды циклотронды резонансты (ECR) типті микротолқынды плазманы шашырату жиі қолданылады.
Магнетронды шашыратқыш жабынның мақсатты материалы:
Металл бүркуге арналған мақсатты материал, жабын қорытпасы шашыратқыш жабын материалы, керамикалық шашыратқыш жабын материалы, керамикалық бүркуге арналған мақсатты материалдар, карбидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материал, фторидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материал, нитридті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материалдар, оксидті керамикалық нысана, селенидті керамикалық мақсатты материал, силицидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материалдар, сульфидті керамикалық бүркуге арналған мақсатты материал, теллуридті керамикалық шашырату нысанасы, басқа керамикалық нысана, хром қосылған кремний оксиді керамикалық мақсат (CR-SiO), индий фосфиді нысаны (InP), қорғасын арсениді (PbAs), индий арсениді мақсатты (InAs).
Жіберу уақыты: 03 тамыз 2022 ж